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    天域半導(dǎo)體是國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)里，排名前三的碳化硅外延片制造商，其在生產(chǎn)過程中外延檢修、清洗、供應(yīng)間廢氣，廢氣成分主要為非甲烷總烴、多種酸霧、氨氣等，采用預(yù)處理+兩級(jí)活性炭深度吸附和酸堿塔吸收治理工藝。